х и м и я л ы қ. Қатты немесе сұйық денелердің вакуум ішінде не газ тәрізді ортада ион шығаруы. И о н д ы қ э м и с с и я н ы ң ерекше маңызы бар, иондар қатты дене бетімен әрекеттескенде соққыланатын беттің катодтық тозаңға айналуы және оның иондық түрде өңделуі, екінші реттік бөлшектердің эмиссиясы сияқты физикалық, химиялық процестерде пайда болады (ҚСЭ). И о н д ы қ э м и с с и я н ы ң рөлі артуда (ҚСЭ).